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2022-08-04 19:31   来源: 互联网
厦门圣气机电设备有限公司有限公司





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压阻压力传感器是利用单晶硅的压阻效应和组成。使用纯硅作为弹性元件,使用集成电路技术在单晶硅膜,在单晶硅扩散在一个特定的方向

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组的等效电阻和电阻满足桥路,单晶硅片的传感器。当压力变化时,单晶硅生产菌株,传播的正上方阻力和压力测量的压力





成比例变化,电桥电路相应的电压输出信号。下面小编给你介绍“压阻压力传感器结构原理图the"的工作过程和特点;





压阻压力传感器结构





压阻压力传感器集成技术集成电阻条单晶硅膜,制成的硅压阻芯片,和修复芯片外围封装在一个外壳,从而导致电极。压阻压力传感器也称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变仪间接由弹性敏感元件感受力量,而是由硅膜片压力直接测量。?





一侧的硅膜片的测量是与高压腔的压力,另一方面是与低压腔的气氛。硅膜片设计周边固支圆,直径和厚度比约为20~60。传播的圆形硅膜片本地化第四条p杂质阻力,完成这座桥,在受压区包括两个,另外两个是在拉应力区,相对于隔膜对称中心。?





此外,也有使用方形硅膜片和硅块敏感元件。硅汽缸传感器也在汽缸的晶体硅扩散在某方向条电阻,耐拉伸应力的两个,另两个抗压应力的桥。

压阻传感器是基于半导体材料的压阻效应的半导体衬底设备由扩散阻力。底物可以直接测量传感器,扩散阻力在衬底上桥形式。





当外力引起的基质和变形,电阻值会改变,会产生相应的不平衡输出桥。吗?作为衬底材料压阻传感器(或隔膜)主要为硅和锗,硅晶圆为敏感吗?材料制成的硅压阻传感器越来越得到人们的关注,尤其是测量压力和速度最常见的固态压阻传感器的应用。





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